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        1800度高溫燒結爐

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        單向退火爐

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        單向退火爐

        • 所屬分類:退火爐

        • 點擊次數:
        • 發布日期:2020/05/15
        • 規格:
        • 類型:
        • 在線詢價
        • 詳細介紹

        單向退火爐

        退火目的是什么?在高溫(1750℃)加熱狀態下,通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時清除一些晶格內部缺陷,從而釋放內部應力,為后續加工奠定良好的基礎。晶體退火恒溫時間為36小時;每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。


        單向退火爐



        主要技術參數

        型號

        LGYL-1800

        單向退火爐

        LGYL-1800

        雙向退火爐

        LGYL-1650

        單向退火爐

        LGYL-1650

        雙向退火爐

        有效工作區尺寸(mm)

        860*340*300

        860*340*300

        860*420*450

        860*420*450

        額定功率

        57KVA

        57KVA

        57KVA

        57KVA

        每爐裝載量

        4寸晶棒約5800mm

        4寸晶棒約5800mm

        4寸晶片約9000mm

        4寸晶片約9000mm

        額定溫度

        1750℃

        1750℃

        1600℃

        1600℃

        保溫材料

        氧化鋯纖維

        氧化鋯纖維

        氧化鋁纖維

        氧化鋁纖維

        移動軌道行程速率

        1040.4mm/分

        1040.4mm/分

        1040.4mm/分

        1040.4mm/分

        升降平臺行程速率

        92.8mm/分

        92.8mm/分

        92.8mm/分

        92.8mm/分

        操控方式

        手動與自動

        手動與自動

        手動與自動

        手動與自動

        工作電壓

        電爐加熱380V

        儀表工作220V

        電爐加熱380V

        儀表工作220V

        電爐加熱380V

        儀表工作220V

        電爐加熱380V

        儀表工作220V

        運行機構

        絲桿、軌道、電動運行

        絲桿、軌道、電動運行

        絲桿、軌道、電動運行

        絲桿、軌道、電動運行

        加熱元件

        1900型硅鉬棒(U型)

        1900型硅鉬棒(U型)

        1800型硅鉬棒(U型)

        1800型硅鉬棒(U型)

        控制精度

        ≤±0.5℃

        ≤±0.5℃

        ≤±0.5℃

        ≤±0.5℃

        控溫方式

        100段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機


        本文網址:http://www.ibara-gc.com/product/593.html

        關鍵詞:單向退火爐,1800退火爐

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