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            1800度高溫燒結爐

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            單向退火爐

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            單向退火爐

            • 所屬分類:退火爐

            • 點擊次數:
            • 發布日期:2020/05/15
            • 規格:
            • 類型:
            • 在線詢價
            • 詳細介紹

            單向退火爐

            退火目的是什么?在高溫(1750℃)加熱狀態下,通過高溫促使晶體晶格打亂后重新排列,同時清除一些晶格內部缺陷,從而釋放內部應力,為后續加工奠定良好的基礎。晶體退火恒溫時間為36小時;每爐次退火時間為5天左右。退火后的晶棒在切割完成后,晶片翹曲低于1絲,線小于2毫米、內應力、崩邊現象及線痕度得到很大的提升;加工后的晶片成品率也達到了95%以上。成品率提高了,成本又降低了很多,同時延長了晶棒的切割線的使用壽命。


            單向退火爐



            主要技術參數

            型號

            LGYL-1800

            單向退火爐

            LGYL-1800

            雙向退火爐

            LGYL-1650

            單向退火爐

            LGYL-1650

            雙向退火爐

            有效工作區尺寸(mm)

            860*340*300

            860*340*300

            860*420*450

            860*420*450

            額定功率

            57KVA

            57KVA

            57KVA

            57KVA

            每爐裝載量

            4寸晶棒約5800mm

            4寸晶棒約5800mm

            4寸晶片約9000mm

            4寸晶片約9000mm

            額定溫度

            1750℃

            1750℃

            1600℃

            1600℃

            保溫材料

            氧化鋯纖維

            氧化鋯纖維

            氧化鋁纖維

            氧化鋁纖維

            移動軌道行程速率

            1040.4mm/分

            1040.4mm/分

            1040.4mm/分

            1040.4mm/分

            升降平臺行程速率

            92.8mm/分

            92.8mm/分

            92.8mm/分

            92.8mm/分

            操控方式

            手動與自動

            手動與自動

            手動與自動

            手動與自動

            工作電壓

            電爐加熱380V

            儀表工作220V

            電爐加熱380V

            儀表工作220V

            電爐加熱380V

            儀表工作220V

            電爐加熱380V

            儀表工作220V

            運行機構

            絲桿、軌道、電動運行

            絲桿、軌道、電動運行

            絲桿、軌道、電動運行

            絲桿、軌道、電動運行

            加熱元件

            1900型硅鉬棒(U型)

            1900型硅鉬棒(U型)

            1800型硅鉬棒(U型)

            1800型硅鉬棒(U型)

            控制精度

            ≤±0.5℃

            ≤±0.5℃

            ≤±0.5℃

            ≤±0.5℃

            控溫方式

            100段PID智能程序控溫,可編程序控制器(PLC)控制+觸摸屏+工控機


            本文網址:http://www.ibara-gc.com/product/593.html

            關鍵詞:單向退火爐,1800退火爐

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